據稱台積電購買的EUV極紫外光刻機來自荷蘭公司ASML(阿斯麥)，據稱其中隱藏了一個潛在的致命後門，可以在必要時遠程觸發自毀功能。

關于這個自毀功能的存在原因以及可能的使用時機，目前尚無法得知。

但目前尚不清楚它到底是否真的存在，以及具體是如何工作的，ASML、台積電也均未公開回應。

此前，台積電高級副總裁張曉強公開抱怨，ASML最新的高數值孔徑EUV光刻機雖然性能令人滿意，但是“價格實在太高了”。

傳聞這種新光刻機的價格高達約3.5億歐元(約合人民幣27億元)，Intel已經采購並開始安裝第一台，而台積電一直沒有明確采購計劃。

稍早些時候，ASML原首席執行官Peter Wennink還對外披露，在某些情況下，美國政府將阻止ASML爲其之前出售給中國大陸客戶的一些光刻機提供售後服務，這與其在4月中旬的表態大相徑庭，當時還說美國政府攔不住。